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四探針測試儀和半導體電阻率測試儀測量方法?
更新時間:2021-05-06 點擊次數:1076
  四探針測試儀和半導體電阻率測試儀測量方法?
  四探針測試儀測量方法?
  有多種類型的四探針電阻率測試儀,例如高溫和室溫,并且不同的四探針電阻率測試儀為每種材料測量不同的參數。例如,高溫四探針電阻率測試儀可以測量硅和鍺單晶的電阻率,硅外延層,擴散層和離子注入層的平方電阻,以及導電玻璃和其他導電材料的平方電阻,主要用于薄膜和片材的導電性能。四探針電阻率測試儀是關鍵的測量參數,它是半導體材料的電阻,電阻率和抗粘連性。
  半導體電阻率測量方法?
  測量半導體電阻率方法的測量方法主要根據摻雜水平的高低,半導體材料的電阻率可能很高。有多種因素會使測量這些材料的電阻率的任務復雜化,包括與材料實現良好接觸的問題。特殊的探頭設計用于測量半導體晶片和半導體棒的電阻率。這些探頭通常由諸如鎢的硬質金屬制成,并接地到探頭。在這種情況下,接觸電阻很高,必須使用四點共線探針或四線絕緣探針。兩個探針提供恒定電流,另外兩個探針測量整個樣品一部分的電壓降。您可以使用所測電阻的幾何尺寸來計算電阻率。盡管此度量看似簡單,但仍有一些問題需要注意。正確屏蔽探頭和測量導線非常重要,其原因有以下三個:
  1、一個電路具有高阻抗,因此容易受到靜電干擾。
  2、半導體材料觸點可對二極管效應吸收的信號進行整流,并將其顯示為直流偏移。
  3、材料通常對光敏感。

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