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四探針電阻率測試儀的配置特點和技術參數
更新時間:2014-11-27 點擊次數:1921
  

四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份測試架及四探針頭組成。本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.10.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。

 

    四探針電阻率測試儀如加配HQ-710E數據處理器,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均。給測量帶來很大方便。

 

四探針電阻率測試儀技術參數:

(1)測量范圍:  

可測電阻率:0.000119000Ω•cm  

可測方塊電阻:0.0011900Ω•□  

(2)恒流源:  

輸出電流:DC0.001100mA五檔連續可調  

量程:0.0010.01mA  

0.010.10mA  

0.101.0mA  

1.010mA  

10100mA  

恒流精度:各檔均低于±0.05%  

(3)直流數字電壓表:  

測量范圍:0199.99mV  

靈敏度:10μV  

基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度)  

輸出電源:≥1000ΩM

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