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四探針電阻率測試儀的檢定要求和環(huán)境
更新時間:2015-07-21 點擊次數(shù):1881
   電阻率是反映半導體材料導電性能的重要參數(shù)之一。測量電阻率的方法很多,四探針法是一種廣泛采用的標準方法。它的優(yōu)點是設備簡單、操作方便,度高,對樣品的形狀無嚴格要求。

  電阻率測試儀是用來測量半導體材料及工藝硅片的電阻率,或擴散層及外延層方塊電阻的測量儀器。一般的四探針電阻率測試儀均已配置厚度的修正,通過厚度數(shù)值的設置,計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。

  四探針電阻率測試儀檢定的技術要求

  1、整體方法檢定電阻率測試儀的標準樣片,表面應沒有任何臟物,長期使用應注意定期清洗(按標準樣片使用說明中規(guī)定的方法清洗),以保持樣片表面的清潔。

  *測量時用表中所列的樣片,如發(fā)現(xiàn)電流表示值調不上去或其中有一個表示值超過zui大值時,則需要更換一個名義值較大的標準樣片。如1Ω·cm需換成5Ω·cm。

  2、用模擬電路法檢定四探針測試儀電氣部分的V/I比時,電阻r和R有如下要求。

  模擬電路法的電阻計算公式如下:

  式中:Vav-電流正反向測量r上電壓降的平均值;

  Rs-標準電阻值;

  Vsv-標準電阻上的電壓降平均值;

  Iav-正反向電流的平均值。

  3、各種型號的四探針電阻率測試儀技術指標,應符合出廠技術說明書的要求。

  四探針電阻率測試儀的檢定環(huán)境條件

  電阻率測試儀的檢定應在恒溫清潔室內進行。檢定前,儀器和所用的標準儀器設備應在恒溫室內旋轉12h以上。在檢定過程中發(fā)現(xiàn)有靜電感應或泄漏電流的現(xiàn)象,則應采取相應的屏蔽或接地措施消除。

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