采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱結(jié)合配置的高溫測試探針治具，滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求，通過先進(jìn)的測控軟件可以顯示出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
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